Mandril de buit d'alúmina de 12 polzades per al processament de galetes de 300 mm
El mandril de buit de 12 polzades de St.Cera està fabricat amb precisió a partir d'alúmina d'alta puresa (Al₂O₃) al 99,8% per a la manipulació d'oblies de 300 mm. El mandril presenta una superfície amb ranures fines (amplada de la ranura de 0,5 a 1,0 mm, pas de 2 a 3 mm) per garantir una distribució uniforme del buit en tot el diàmetre de 300 mm. La planitud es manté dins de 5 μm, cosa que permet una fixació de l'oblia sense deformacions durant el tall en daus, la mòlta posterior i la inspecció. L'alta resistència a la flexió (361 MPa) i la duresa (16 GPa) del material garanteixen estabilitat dimensional a llarg termini, fins i tot sota cicles de buit repetits.
Especificacions (basat en un 99,8% d'Al₂O₃):
| Propietat | Valor |
| Diàmetre | 300 mm (12 polzades) |
| Material | 99,8% d'alúmina (ivori) |
| Densitat | 3,93 g/cm³ |
| Resistència a la flexió | 361 MPa |
| Duresa Vickers | 16 GPa |
| Planitud (més de 300 mm) | ≤5 μm |
| Amplada de la ranura | 0,5–1,0 mm |
| Temperatura màxima de funcionament | 800 °C |
| Rigidesa dielèctrica | 15×10⁶ V/m |
Aplicacions:
Tallat i marcat de 300 mm de làmines
Esmolat de la part posterior de l'oblia (suport d'oblia fina)
Inspecció i sondeig òptic
Mandrils d'unió/desunió temporals
Fabricació:
Rectificat i lapejat per CNC fins a la planitud final, ranurat amb moles de diamant, netejat per ultrasons i envasat en una sala blanca de classe 100. Cada mandril s'inspecciona al 100% per a la planitud (interferòmetre làser) i la profunditat del ranurat (perfilòmetre).
Avantatges:
Baixa generació de partícules (≤0,05 partícules/cm²)
Químicament inert als dissolvents i àcids
Superfície segura contra ESD (resistivitat >10¹³ Ω·cm)
Patrons de forats de buit personalitzats i ports posteriors disponibles.
