Anell de segellat ceràmic d'alúmina d'alta puresa per al segellat de cambres d'alta temperatura

L'anell de segellat ceràmic de St.Cera està dissenyat com a alternativa a les juntes tòriques de polímer en entorns extrems on els elastòmers es degraden. Fabricat amb un 99,8% d'alúmina d'alta puresa (Al₂O₃), aquest anell de segellat rígid s'utilitza en aplicacions de segellat estàtic, normalment combinat amb una junta de metall tou o grafit, per proporcionar una contenció fiable de buit o gas a temperatures de fins a 800 °C i en entorns agressius de plasma o químics. El material ofereix zero desgasificació, alta resistència a la compressió (resistència a la flexió subjacent de 361 MPa) i inertícia química (resistent a halògens, àcids i àlcalis excepte HF). Les superfícies de segellat solapades amb precisió (planitud ≤5 μm, rugositat superficial Ra ≤0,2 μm) garanteixen un contacte hermètic amb els components metàl·lics o ceràmics d'acoblament.

Especificacions(basat en un 99,8% d'Al)₂O₃):

Aplicacions:

• · Segells estàtics de cambres de procés de semiconductors (CVD, PVD, gravat)
• · Segells de porta de forn d'alta temperatura
• · Brides de pas de buit
• · Tancaments de recipients de reactors químics

Procés de fabricació:

Premsat isostàtic → sinterització a 1600 °C → solapat de doble cara de precisió per aconseguir cares de segellat ultraplanes i llises → bisellatge de vores → neteja per ultrasons. Cada anell es prova al 100 % si hi ha fuites en un detector de fuites d'heli amb una junta metàl·lica estàndard.

Control de qualitat:

• · Comprovació dimensional de la CMM (diàmetre interior, diàmetre exterior, gruix, paral·lelisme)
• · Perfilòmetre de superfície per a Ra i ondulació
• · Mesura de planitud mitjançant planitud òptica
• · Prova de fuites d'heli (mètode de contrapressurització)

Avantatges respecte a les juntes tòriques de polímer:

• · Resistent a 800°C enfront de <300°C per FFKM
• · Zero desgasificació: sense contaminació de l'entorn de buit
• · Resistent a totes les químiques del plasma (fluor, clor, oxigen)
• · Sense compressió fixa ni deformació permanent
• · Vida útil il·limitada en entorns nets

Limitacions (observacions crítiques):

• · No és una junta tòrica— és un anell de ceràmica rígid que requereix una junta tova (coure, alumini o grafit) per segellar-lo.
• · No s'adapta a moviments dinàmics ni a grans desalineacions de brides.
• · Cost inicial més elevat que les juntes tòriques de polímer, però una vida útil més llarga redueix el cost de propietat.
• · Fràgil: manejar amb cura; evitar impactes puntuals o esforços de flexió.

Nota:Les dades anteriors segueixen estrictament la taula de propietats d'Al₂O₃ subministrada. No s'han proporcionat dades per a materials elastomèrics. Aquest producte és un anell de segellat estàtic, no una junta tòrica elastomèrica. Confirmeu si això compleix els requisits de la vostra aplicació.