Efector final ceràmic de carbur de silici (SiC): alta rigidesa per a la manipulació de oblies a alta temperatura
L'efector final ceràmic SiC de St.Cera està fabricat amb carbur de silici d'alta puresa (contingut de SiC 99,72%, Si lliure 0,05%) utilitzant el material de lot S1111. Ofereix propietats mecàniques excepcionals: resistència a la flexió 449 MPa (mesurada), mòdul elàstic 457 GPa (mesurat) i duresa Vickers 25–28 GPa (típica). La baixa densitat (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona una alta rigidesa específica, ideal per a robots de transferència d'oblees d'alta velocitat. Amb una conductivitat tèrmica de 120–150 W/m·K (típica) i un coeficient d'expansió tèrmica de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (típic), aquest efector final dissipa eficaçment la calor i manté l'estabilitat dimensional durant la manipulació a altes temperatures (fins a 1600–1700°C, sense càrrega). El color negre/gris i la zero absorció d'aigua garanteixen la compatibilitat amb la sala blanca.
Especificacions(basat en l'informe de prova de SiC S1111 subministrat i els valors típics)):
| Propietat | Valor |
| Material | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si lliure) |
| Color | Negre/Gris |
| Densitat | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorció d'aigua | 0% |
| Resistència a la flexió | 449 MPa (mitjana) |
| Tenacitat a la fractura | 3,12 MPa·m¹/² (mitjana) |
| Mòdul elàstic | 457 GPa |
| Duresa Vickers | 25–28 GPa |
| Conductivitat tèrmica (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Temperatura màxima d'ús (sense càrrega) | 1600–1700 °C |
Aplicacions:
● Manipulació d'oblies a alta temperatura (post-recuit, RTP, epitàxia)
● Cambres de gravat per plasma que requereixen una alta resistència a l'erosió
● Robots de transferència d'alta velocitat (lleugers, alta rigidesa)
Fabricació:
Sinterització de pols de SiC → rectificat CNC de precisió del perfil del braç i les característiques de muntatge → solapat superficial → neteja per ultrasons. Inspecció dimensional del 100% i prova de fuites d'heli per a aplicacions de buit.
Control de qualitat:
● Inspecció CMM de longitud, amplada i planitud
● Prova de resistència a la flexió per lot (segons l'estàndard de l'informe de prova)
● Inspecció visual al microscopi per detectar defectes superficials
Avantatges respecte a l'alúmina o el metall:
● Mòdul elàstic 2× més alt (457 vs ~380 GPa per a l'alúmina): menys deflexió
● Conductivitat tèrmica 3 vegades més alta: dissipació de calor més ràpida
● Suporta >1600 °C en comparació amb els 800 °C de l'alúmina a l'aire
● Densitat inferior a la de l'acer: reducció del pes del 40%
Personalització:
Longituds 150–450 mm, formes de punta (agafada de vora, Bernoulli, plana), patrons de brides de muntatge segons el dibuix OEM.
*Totes les dades mecàniques anteriors provenen de l'informe de proves subministrat (lot S1111). Els valors tèrmics i de duresa són típics per a aquest grau de SiC; poseu-vos en contacte amb nosaltres per obtenir la certificació específica del lot.*
