-
Peces ceràmiques d'anell de ceràmica d'alta precisió d'alúmina
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Mandrils ceràmics per a equips semiconductors personalitzats de ST.CERA
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Efector final ceràmic de carbur de silici (SiC): alta rigidesa per a la manipulació de oblies a alta temperatura
L'efector final ceràmic SiC de St.Cera està fabricat amb carbur de silici d'alta puresa (contingut de SiC 99,72%, Si lliure 0,05%) utilitzant el material de lot S1111. Ofereix propietats mecàniques excepcionals: resistència a la flexió 449 MPa (mesurada), mòdul elàstic 457 GPa (mesurat) i duresa Vickers 25–28 GPa (típica). La baixa densitat (3,10–3,15 g/cm³, típica) proporciona una alta rigidesa específica, ideal per a robots de transferència d'oblees d'alta velocitat. Amb una conductivitat tèrmica de 120–150 W/m·K (típica) i un coeficient d'expansió tèrmica de 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (típic), aquest efector final dissipa eficaçment la calor i manté l'estabilitat dimensional durant la manipulació a altes temperatures (fins a 1600–1700°C, sense càrrega). El color negre/gris i la zero absorció d'aigua garanteixen la compatibilitat amb la sala blanca.
-
Mandril de buit basat en carbur de silici (SiC) per a entorns d'alta temperatura i plasma
El mandril ceràmic basat en SiC de St.Cera està fabricat amb carbur de silici d'alta puresa (lot S1111, SiC 99,72%, Si lliure 0,05%). Ofereix una resistència a la flexió mesurada de 449 MPa, una tenacitat a la fractura de 3,12 MPa·m¹/² i un mòdul elàstic de 457 GPa. La conductivitat tèrmica típica del material (120–150 W/m·K) i la baixa expansió tèrmica (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) permeten un augment ràpid de la temperatura i una deformació mínima de la làmina durant el cicle tèrmic. El mandril es pot configurar com un mandril de buit porós (flux uniforme de gas) o un mandril estàndard ranurat. Amb una temperatura màxima d'ús de 1600–1700 °C (sense càrrega) i una resistència excepcional a l'erosió per plasma, aquest mandril és ideal per al processament de làmines a alta temperatura (recuit, RTP) i cambres de gravat agressives on els mandrils d'alúmina es degraden.
-
Equips semiconductors Recanvis ceràmics Portadors ceràmics
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Anell de mòlta ceràmica d'alúmina amb suport metàl·lic per a aplicacions de solapat d'alta rigidesa
L'anell de mòlta d'alúmina a base de metall de St.Cera combina una capa de desgast ceràmica d'alúmina d'alta puresa (99,8% Al₂O₃) amb un suport metàl·lic mecanitzat amb precisió (normalment alumini o acer inoxidable). Aquest disseny híbrid proporciona la resistència al desgast excepcional i la inertícia química de la ceràmica a la superfície de mòlta, mentre que la base metàl·lica afegeix resistència mecànica, muntatge fàcil i resistència a la fractura fràgil. La capa d'alúmina ofereix una resistència a la flexió de 361 MPa, una duresa Vickers de 16 GPa i una estabilitat tèrmica de fins a 800 °C. La base metàl·lica està personalitzada amb forats de muntatge, passadors de localització o propietats magnètiques per a la integració en màquines de lapar, rectificadores planetàries i equips CMP.
-
Recanvis de ceràmica per a equips d'estació de sonda de semiconductors
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Processament personalitzat del mandril de galeta de ceràmica Al2O3
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Placa de ceràmica per a equips semiconductors personalitzats ST.CERA
Formates per premsat isostàtic en fred i sinteritzades a alta temperatura, després mecanitzades i polides amb precisió, les peces de recanvi ceràmiques poden complir qualsevol requisit estricte dels equips semiconductors amb les seves característiques de resistència al desgast, resistència a la corrosió, baixa expansió tèrmica i aïllament. La ceràmica pot funcionar en molts tipus d'equips de producció de semiconductors amb condicions d'alta temperatura, buit o gas corrosiu durant molt de temps.
Fet de pols d'alúmina d'alta puresa, processat per premsat isostàtic en fred, sinterització a alta temperatura i acabat de precisió, pot assolir una tolerància de dimensió de ±0,001 mm, un acabat superficial Ra 0,1 i una resistència a la temperatura de 1600 ℃.
-
Mandril de buit d'alúmina de 12 polzades per al processament de galetes de 300 mm
El mandril de buit de 12 polzades de St.Cera està fabricat amb precisió a partir d'alúmina d'alta puresa (Al₂O₃) al 99,8% per a la manipulació d'oblies de 300 mm. El mandril presenta una superfície amb ranures fines (amplada de la ranura de 0,5 a 1,0 mm, pas de 2 a 3 mm) per garantir una distribució uniforme del buit en tot el diàmetre de 300 mm. La planitud es manté dins de 5 μm, cosa que permet una fixació de l'oblia sense deformacions durant el tall en daus, la mòlta posterior i la inspecció. L'alta resistència a la flexió (361 MPa) i la duresa (16 GPa) del material garanteixen estabilitat dimensional a llarg termini, fins i tot sota cicles de buit repetits.
-
Efector final de ceràmica d'alúmina amb canals de buit integrats
L'efector final de buit d'alúmina de St.Cera integra canals de buit mecanitzats amb precisió i forats de succió directament al cos d'alúmina d'alta puresa del 99,8%. Aquest disseny elimina les ventoses externes, cosa que permet una recollida directa de la làmina amb una força de subjecció uniforme. L'alta resistència a la flexió (361 MPa) i la duresa (16 GPa) del material garanteixen una estabilitat dimensional a llarg termini sota cicles de buit repetits. La planitud a la zona de la ventosa es manté dins de les 10 μm, evitant la tensió i la ruptura de la làmina. Els ports de buit es troben a la brida de muntatge posterior per facilitar la integració amb els braços robòtics OEM.
-
Peces ceràmiques d'alúmina ESD-safe per a la manipulació de galetes sensibles a l'electricitat estàtica
Les peces ceràmiques d'alúmina segures per a descàrrega electrostàtica (ESD) de St.Cera es fabriquen amb un 99,8% d'Al₂O₃ d'alta puresa amb una resistivitat superficial personalitzada de 10⁶–10⁹ Ω/sq, aconseguida mitjançant un procés de dopatge o recobriment patentat. Aquestes peces dissipen eficaçment la càrrega estàtica, evitant danys electrostàtics a les oblies i dispositius semiconductors sensibles. El material base conserva la seva alta resistència a la flexió (361 MPa), duresa (16 GPa) i resistència dielèctrica (15×10⁶ V/m). Les peces ceràmiques segures per a ESD inclouen efectors finals, passadors d'elevació, rails de guia i accessoris personalitzats per a l'automatització de FAB.
